系统总览
本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中，或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器（PLC）系统主控器控制。
系统构造
A） 带2道门阀的传递室
B） 带1道门阀的传递室
C）分配室
D）干燥室（干燥剂安放室）
E）UV清洗室
F）封装室
OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室（包括装配系统）。
G UV加工室
H）装片机械手位置
I） 卸片机械手位置
J） 真空烤箱
K） 真空烤箱
概要
工艺流程
OLED器件玻璃
传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F（器件玻璃正面朝下）。
在封装过程中，OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升，并被上层平台真空吸附。
后盖玻璃
安放后盖玻璃于盒子中，随后由MGV安放到真空烤箱上。于是，在真空烤箱中，后盖玻璃被加热和抽真空
烘烤后，OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。
后盖玻璃在特定气体中UV光清洗，于是E室被干泵抽真空。
当E室中的气压抽到特定值时，N2被清除。
机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室D。
干燥室D中有2台夹起和放置机械，并旋转提供干燥剂。
机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃，送至分配室C。
在分配室C，4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上，以便绘制图案。
在分涂有UV胶后，后盖玻璃被递送至封装室F。
提升-手指夹持后盖玻璃、下沉，并安放在底座平台上。
当2片玻璃通过CCD对位在封装室后，UV光从底部照射，于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。
装配线
装配设备被递送到UV加工室G。
UV光从底部加工装配设备。
加工后，玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后，后者被MGV递送到下道工序。
各室详细情况介绍
1、传递室A和B：
传递方法：单轴机械手递送；ф15mm*LEAD 20mm
递送速度：800mm/sec（最大值）
机械手材料：铝
表面处理：硬性阳极氧化铝
物件夹持方式：手持玻璃外边缘，边缘8mm宽是接触面：
马达：100W伺服马达
冲程：850mm
2、分配室C
分配头由ASYMTEK提供。
分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。
分配系统有4个分配头。
4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。
（a） 分配器： ASYMTEK DV 8000
（b） 驱动： Y机械手、XZ机械手和XYθ平台。
（c） 注射容量： 50cc
（d） 注射数量： 4鸣管
（e） 分配树脂宽度： 1—1.5mm+/-15%
（f） 分配树脂高度： 0.03mm（至0.05mm）
（g） 单元尺寸： 由可变程序控制。
（h） 分配头加热器： 已安装。
（I） 分配头清洗器： 已安装。
参考值：
分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。
然而，这受UV胶粘性的影响和变化。
3、干燥室D
本室有干燥剂吸取单元，该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。
（a） 吸附单元 2头， 一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。
（b） 驱动： Y机械手和XY机械手
（c） 供给单元： 轴连递送。
（d） 电吹风： 2套。
（e） 卷轴数量： 2套。
（f） 单元尺寸： 随可变程序调整。
4、UV清洗单元E
灯： 低压水银灯
输入： 200W
灯数量： 8
形状： N形
5、OLED器件玻璃和后盖玻璃联结暨UV封装：
室（包括装备系统）： 封装单元F
UV灯： 2盏14KW带气冷功能的UV灯。
气压方式： N2气压。
上层平台： 带真空吸盘的铝板
下层平台： 石英玻璃。
掩膜： 任选。
* 被动器件UV光照时需掩膜保护。
定位方法： 带CCD摄像系统的XYθ平台。
CCD摄像系统：联结精度+/—50微米。
*过后，联结对位标记就相互吻合。
其他： 气冷系统。
6、UV加工室G
室（包括装配系统）：封装室D。
UV灯： 1盏带气冷功能的14KW UV灯。
压力方式： 机械压力。
上层平台： 带真空吸盘的铝板。
下层平台： 石英玻璃。
照射方法： 扫描。
对位方法： PIN连接。
7、真空烤箱（J&K）
本室中，通过使用干灯加热的方式
终极真空度： <3*10-2bar
最高温度： 300℃
工作温度： 150℃+5℃
加热方法： 电阻加热
控制方法： PLC控制。
加热速度： 大约1小时从室温升到150℃左右。
8、装片机械手位置H和卸片机械手位置
要放好封装盒位置，两点很重要。
每个封装盒可以安装20片面板。
不论封装盒是空还是满，封装盒可以自动移到卸片位置。
细则
主要单元型号 | UTF-F1000HGR-014 | |
结构 | 汽缸型 | |
操作自由度 | 4 | |
操作区域 | X轴 | 1235mm |
θ轴 | 340度 | |
Z轴 | 520mm | |
R轴 | 185度 | |
最大速度 | X轴 | 900mm/sec |
θ轴 | 140deg/sec | |
Z轴 | 172mm/sec | |
R轴 | 180deg/sec | |
操作时间 | X轴 | 2.6sec |
θ轴 | 4.0sec | |
Z轴 | 3.6sec | |
R轴 | 1.5sec | |
精度 | X轴 | 小于0.001mm/脉冲 |
机械臂操作角 | ||
θ轴 | 0.001度/脉冲 | |
Z轴 | 0.001mm/脉冲 | |
R轴 | 0.001度/脉冲 | |
重复对位精度 | +0.1mm（X、θ、Y） | |
洁净度 | 1级（0.1μm/cf） | |
效用 | 真空度：大于54kpa10NL/min 压缩空气：0.2~0.6MPA | |
传送块 | 5kg（包括手） | |
环境温度 | 0~40℃ | |
重量 | 大约100kg |
注示1：时间是指每轴一个全冲程所需的时间（理论值）
注示2：20次对位精度
包括错误对位（在精确位置左右方向对位的停止位置的不同）。
注示3：洁净度是依据209E联邦标准而得的标准值。
注示4：压缩空气必须经过过滤和干燥。
